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微光机电系统书籍详细信息

  • ISBN：9787111192664
  • 作者：暂无作者
  • 出版社：暂无出版社
  • 出版时间：2006-8
  • 页数：310
  • 价格：28.00元
  • 纸张：暂无纸张
  • 装帧：暂无装帧
  • 开本：暂无开本
  • 语言：未知
  • 丛书：暂无丛书
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内容简介：

本书介绍了微光机电系统（Nicro-Optical-Electro-mechical System,MOEMS）的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微制造技术，如表面工艺、体硅工艺和LIGA工艺，封装技术等。本书的重点是介绍各种MOEMS器件，包括微力学器件、RF微器微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。介绍微器件时，本书从各器件的工作原理、工艺步骤、性能指标等入手，意在使读者更好地了解目前已经研制成功的各种微器件及微系统，并能在实际的工程中考虑使用。

本书可作为从事MOEMS技术应用和开发的工程设计人员，科技管理人员以及相关专业研究生的参考书。

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书籍介绍

本书介绍了微光机电系统（Nicro-Optical-Electro-mechical System,MOEMS）的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微制造技术，如表面工艺、体硅工艺和LIGA工艺，封装技术等。本书的重点是介绍各种MOEMS器件，包括微力学器件、RF微器微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。介绍微器件时，本书从各器件的工作原理、工艺步骤、性能指标等入手，意在使读者更好地了解目前已经研制成功的各种微器件及微系统，并能在实际的工程中考虑使用。

本书可作为从事MOEMS技术应用和开发的工程设计人员，科技管理人员以及相关专业研究生的参考书。

书籍真实打分

  • 故事情节：7分

  • 人物塑造：5分

  • 主题深度：5分

  • 文字风格：7分

  • 语言运用：9分

  • 文笔流畅：6分

  • 思想传递：3分

  • 知识深度：5分

  • 知识广度：5分

  • 实用性：7分

  • 章节划分：7分

  • 结构布局：9分

  • 新颖与独特：3分

  • 情感共鸣：3分

  • 引人入胜：7分

  • 现实相关：3分

  • 沉浸感：3分

  • 事实准确性：6分

  • 文化贡献：7分

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微光机电系统分类索引数据信息

ISBN：9787111192664
出版社：暂无出版社
出版日期：2006-8
作者：暂无作者
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